洁净室环境 AOI 检测平台 – MVP 900 CL
MVP 900 CL AOI 系统 专为洁净室环境运行而设计。其开放式顶部结构特别适用于 层流(Laminar Air Flow) 环境,使气流能够顺畅通过设备机身。900 CL 可在低至 Class 100 等级的洁净室中稳定运行。
900 CL 支持多种运行模式,可配置为 在线(Inline) 或 批量(Batch) 工艺。批量处理选项包括对 JEDEC 料盒、Waffle Pack 托盘 以及 Auer Boat 载具 的支持。MVP 还可根据客户产品需求,提供定制化物料传输系统开发服务。



关键特性
- 洁净室层流设计
- 12MP 相机,分辨率高达 1 µm
- 器件位置与旋转角度测量(Metrology)
- 表面检测:异物 / 污染、裂纹及划伤
- 器件边缘检测
选项
- 支持在线或批量处理模式
- 支持 JEDEC 料盒、Waffle Pack 托盘、Auer Boat 载具或定制物料处理方案
- 25MP 高分辨率相机选项
- 激光轮廓测量仪
- 一体化自带洁净室配置