MVP Carta – 面向晶圆、切割晶圆及更多应用的灵活自动光学检测(AOI)与计量解决方案

MVP Carta 系列是一款高度灵活的自动光学检测(AOI)与计量平台,专为满足半导体、微电子及先进封装制造商不断变化的需求而设计。凭借紧凑的系统占地和无可匹敌的灵活性,Carta 成为首个在单一平台上同时实现全面晶圆检测灵活性并支持多种产品形式的系统。

Carta 可在同一系统内完成对整片晶圆薄膜框架上的切割晶圆托盘式产品以及混合组件的检测与测量。这种高度灵活的设计不仅降低了资本设备投入需求,还显著提升了跨多种产品类型的检测能力。

为什么选择 MVP Carta?

✔ 在同一系统中实现对晶圆、切割晶圆、托盘产品及混合组件的检测

✔ 在单一平台上整合 AOI 与计量功能

✔ 降低设备复杂度并保持紧凑的系统占地

✔ 随产品演进灵活扩展检测能力

✔ 基于 MVP 经过验证的检测与数据基础架构

先进的检测与计量能力:

  • Die 表面与图案检测
  • Die 表面与图案检测
  • Die 裂纹检测
  • 凸点高度测量与轮廓分析
  • 尺寸与表面计量

灵活的光学与成像配置:

  • 25MP 与 12MP 高速相机
  • 显微物镜
  • 多角度与多光谱照明
  • 可选红外(IR)成像
  • 可选高分辨率高度测量轮廓仪

智能软件与数据集成:

  • 简化的晶圆映射与程序生成
  • 基于 MVP 诊断算法的统一检测界面
  • 离线程序生成与调试环境
  • 支持可编程照明与高度参数的多次扫描检测
  • 集成式缺陷复查(在线或离线)
  • SECS/GEM、e-Maps 及 ELSR(批次结束汇总报告)
  • 可选 AutoData DPC——MVP 基于 SQL 的数据报表平台,提供高级 SPC、报表分析与制程控制功能